Thème: traitement au plasma de plaquettes de silicium. nano-nettoyage par plasma, à faible plaquette nettoyage. Nettoyage ultrafin de nanostructures. Nettoyage des plaquettes.

Plasma nano-nettoyage des plaquettes de silicium

Le premier composant de la production de plaquettes est un bloc de matériau semi-conducteur. Ceci est tranché (scié) et ensuite chimiquement / mécaniquement polie jusqu'à ce que la rugosité de surface requise de quelques nanomètres soit atteint.

Nanoreinigung eines WaferPlaquettes polies et traités au plasma

Dans l'étape suivante, Plasma Openair® est utilisé comme une procédure très simple et efficace pour nettoyage ultrafin de ces nanostructures. Tous les hydrocarbures et des particules sont éliminés à 100%. Le taux d'erreur peut être considérablement réduite par le nettoyage plasma Openair®.

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Le faisceau Plasma nettoie et active les surfaces intégrées et coulées
„Pas de pardon pour les fuites“ – Le traitement Plasma protège l’Electronique
Glasstec 2016
Glasstec 2016
International Trade Fair for Glass Processing, Production and Products

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