Plasma nano-nettoyage des plaquettes de silicium

Le premier composant de la production de plaquettes est un bloc de matériau semi-conducteur. Ceci est tranché (scié) et ensuite chimiquement / mécaniquement polie jusqu'à ce que la rugosité de surface requise de quelques nanomètres soit atteint.

Nanoreinigung eines Wafer
Plaquettes polies et traités au plasma

Dans l'étape suivante, Plasma Openair® est utilisé comme une procédure très simple et efficace pour nettoyage ultrafin de ces nanostructures. Tous les hydrocarbures et des particules sont éliminés à 100%. Le taux d'erreur peut être considérablement réduite par le nettoyage plasma Openair®.

/Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Wafer, /Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts, /Tags/Elektronik/Wafer, /Tags/Elektronik/Wafer-rechts

articles de presse

Le faisceau Plasma nettoie et active les surfaces intégrées et coulées

ELEKTRONIK-PRAXIS (2/2008)
ouvrir le document

„Pas de pardon pour les fuites“ – Le traitement Plasma protège l’Electronique

KUNSTSTOFFE (5/2007)
ouvrir le document

contact

Nous attendons vos demandes avec impatience

Nous serons heureux de vous assister pour toute question ou suggestion et attendons avec impatience de pouvoir relever vos défis. Trouvez ci-dessous votre contact personnel pour toute demande ou remplissez le formulaire ci-joint !